教学目的、要求
通过学习，使学生了解气相沉积技术的种类、原理和应用，以及实现气相沉积所需要的相关工程技术与设备知识。重点学习影响气相沉积过程的动力学因素，着重阐释气-固界面的物理、化学过程。使学生能根据目标材料的性能、结构与应用要求，提出材料气相制备加工的方案与方法。
预修课程
固体物理，表面与界面，机械原理
教材

主要内容
第一章：流体力学 流体宏观模型及物理性质、流体运动学及本构方程、流体动力学理论基础、流体传热与传质。 第二章：气体动力学 气流参数、气流参数变化规律、气流分类、气流传播规律。 第三章：真空及真空获得 真空的基本概念、真空的获得、真空度测量。 第四章：物理气相沉积技术 物理气相沉积的基本原理、物理气相沉积的各种技术（蒸发技术、 溅射技术、反应溅射技术、离子镀、分子束外延技术）、物理气相沉积技术的应用。 第五章：化学气相沉积技术 化学气相沉积的基本原理、化学气相沉积的种类（PECVD、MOCVD）、化学气相沉积的应用。 第六章：气相沉积技术的发展趋势及新应用 智能器件制备、温室气体控制、废物处理、新能源应用。