微电子机械系统引论
微电子机械系统引论
开课单位 : 计算机与控制学院
学时学分 : 40/2.0
大纲 : 详细
本课程分三大单元 第一单元 MEMS的微加工技术，包括下面内容： 1. 微电子加工技术 2. 微体加工技术（Bulk Micromachining） 3. 微表面加工技术（Surface Micromachining） 第二单元MEMS的设计加工原理，包括： 1. MEMS的加工材料及相关性质 2. 微尺度下的作用力标度 3. 微系统的构件 4. 微体系的力学......
主讲教师
讲师 : 易卫东
专业 ： 通信与信息系统
所在单位 ： 信息科学与工程学院
教师简介 ： 教师简介：易卫东，男，中国科学院教授，博士生导师，北京大学学士，后赴美国留学，先后获美国布朗大学(BrownUniversity)硕士学位，，美国伯克利加州大学(UCBerkeley)博士学位,伯克利加州大学Haas商学院技术管理证书。，曾任职于美国能源部劳伦斯伯克利国家实验室(LBNL)和美国WindRiver系统公司。
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