教学目的、要求
课程“纳米加工技术”是面向纳米器件和纳米加工多学科交叉研究领域的核心课程，系统介绍纳米加工技术的理论基础，并利用国家纳米科学中心纳米加工技术实验室的实际条件，开展洁净室技术、纳米加工技术的实践训练，目标为留学生和研究生提供开展纳米器件研究工作所必需的微纳加工基本训练，熟悉微纳加工技术研究的基本概念、纳米器件加工及系统集成的方法、技术现状和前沿发展方向等。
预修课程

教材
Zheng Cui. Micro-Nanofabrication: Technologies and applications. Higher Education Press. 2005
主要内容
“纳米加工技术”课程知识模块包括： （1）纳米加工技术洁净实验室参观（1小时）和纳米加工技术总论（1小时）； （2）图形发生技术：紫外光刻曝光技术（2小时）； （3）图形发生技术：电子束曝光技术（2小时）； （4）真空技术（2小时）； （5）纳米加工技术洁净室技术现场实践（2小时）； （6）湿法化学清洗和腐蚀技术（2小时）； （7）等离子体技术（2小时）； （8）图形转移技术：等离子体刻蚀技术（2小时）； （9）深硅刻蚀、纳米硅刻蚀技术，纳米加工技术洁净室工艺实践（2小时）； （10）薄膜生长技术（2小时）； （11）研究生课程考核汇报（每人10分钟纳米加工技术专题报告）。