第20讲 材料的气相沉积制备技术
讲师介绍
讲师 : 陈广超
专业 : 材料科学与工程
所在单位 : 材料科学与光电技术学院
教师简介 : 研究方向: 碳及相关材料与器件,等离子体工程,宽带隙材料与器件 毕业院校: 1987-09-01—1991-07-01 西安交通大学 学士 1991-09-01—1994-07-01 西安交通大学 硕士 1994-09-01—1997-06-30 中国科学院金属研究所 博士 论文: 直流电弧喷射沉积金刚石 制备SrTiO3 金刚石形核 Growth of ultrananocrystalline diamond film by DC Arcjet plasma enhanced Single crystalline diamond grown by repositioning substrate in DC arcjet plasma 专利: 单晶制备 层流等离子体制备单晶